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硅基氮化铝
产品名称: AlN on Si
产品尺寸: 2英寸、4英寸……可定制
表面粗糙度: Ra < 1nm (200nm)
基底材料: 500±10um  Si(100)
AlN外延厚度: 50~200nm
晶面取向: c-aixs [0001]
HRXRD半高宽: <1.5°
总厚度变化: < 7um
翘曲度: <30um
弯曲度: -10 ~15um
包装: 单片/多片晶圆盒
产品介绍

氮化铝(AlN)是少数几种具有高导热性能的非金属材料之一,具有广阔的市场应用前景。化合积电实现向众多客户提供2英寸/4英寸金刚石基氮化铝薄膜模板、2英寸/4英寸硅基氮化铝薄膜模板、氮化铝单晶气相沉积等产品,亦可根据应用要求,进行定制化生长。

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